真空泵产品特点$n内部零件可进行防腐涂层处理，可适用于化工制药行业的特殊要求l 低噪声、无振动，适应微电子、半导体等安静环境的使用l 泵腔无油结构设计，泵无废气、无废液排放，特别

真空泵产品概述$n内部零件可进行防腐涂层处理，可适用于化工制药行业的特殊要求l 低噪声、无振动，适应微电子、半导体等安静环境的使用l 泵腔无油结构设计，泵无废气、无废液排放，特别

成都真空泵*内部零件可进行防腐涂层处理，可适用于化工制药行业的特殊要求l 低噪声、无振动，适应微电子、半导体等安静环境的使用l 泵腔无油结构设计，泵无废气、无废液排放，特别

真空泵内部零件可进行防腐涂层处理，可适用于化工制药行业的特殊要求l 低噪声、无振动，适应微电子、半导体等安静环境的使用l 泵腔无油结构设计，泵无废气、无废液排放，特别

主要特点l 单级设计可以获得1Pa的高真空，从大气到极限真空可连续长期运行l 螺杆材质为整体式球墨铸铁，强度高、可靠性好l 无油干式压缩，可以抽除可凝性气体，有毒有害气体l 吸气腔内部运转部件无接触摩擦，可实现高速平稳运行l 内部零件可进行防腐涂层处理，可适用于化工制药行业的特殊要求l 低噪声、无振动，适应微电子、半导体等安静环境的使用l 泵腔无油结构设计，泵无废气、无废液排放，特别