罗茨滑阀真空机组是由普通罗茨泵为主泵、滑阀真空泵为前级泵串联组成的真空机组。通过真空继电器或电接点压力表,来实际罗茨泵滑阀泵的自动启闭,自动过载保护。整套机组安装在一个机架上,配以管道、阀门、电器操作控制箱、冷却水管系统。机组结构紧凑,使用方便。
根据被抽真空系统的大小及极限压力的不同,真空机组各泵之间的名义抽速之比在4:1至10:1之间,前者较后者适用于较大真空系统及长时间在低压入口压力或极限真空情况下工作。本系列机组为了防止滑阀泵停机时返油,在前级进口管道上安有电磁充气阀,其动作与前级泵电动机实现联动,当滑阀泵停泵时,向泵口充气,确保滑阀泵内的真空油返回到油箱内,同时防止真空系统不受真空油污染。
罗茨滑阀真空机组的种类繁多,在选型时特别要注意:
1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境的影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
2、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的真空泵或真空机组。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,首先选择耐腐蚀允许部分颗粒或蒸汽的真空泵,还可以考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
3、所选真空泵或真空机组在其正常工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中所产生的全部气体量,高真空罗茨滑阀真空机组否则影响真空度。
4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种真空泵不能满足抽气要求,需要几种真泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。